壓電納米升降臺

• 行程(mm) 5
• 最大負(fù)載(kg) 1.5
• 最大速度(mm/sec) 50
• 最小步進(nm) 50
• 重復(fù)定位精度(um) 0.3
• 位置傳感器 光柵尺
• 主體材料 鋁合金，陽極氧化
• 重量(kg) 1.08
• 幾何尺寸(寬深高，mm) 70×100×58
• RoHS 符合標(biāo)準(zhǔn)