壓電納米顯微鏡平臺

• 行程(mm) 125×80
• 最大速度(mm/sec) 50
• 軸向推力(N) 16
• 最大負載(kg) 2
• 最小步進距離(nm) 50
• 重復定位精度(μm) 0.3
• 位置傳感器 光柵尺
• 主體材料 鋁合金,陽極氧化
• 幾何尺寸(寬深高，mm) 275×295×42
• 重量(kg) 5.07
• RoHS 符合標準