壓電納米升降臺采用鍥型結(jié)構(gòu)設(shè)計,單/雙壓電馬達驅(qū)動;斷電自鎖,內(nèi)具剎車功能,無回程間隙。
最小步進距離小于20nm;
可選配磁柵或光柵位置反饋;
結(jié)構(gòu)緊湊,可以和其他位移臺直接疊堆成模組。
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