類型

D07-7B  型

流量規(guī)格

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)    SCCM        （0~1,2,3,5,10）SLM

精準度

±1.5  % F.S

線性

±1 % F.S

重復精度

±0.2  %F.S

響應時間

電特性: 10 sec;             
  氣特性:  ≤ 4  sec

工作壓差范圍

(0.1 ~ 0.5)  MPa

溫度系數

 -

最大工作壓力

1  MPa

耐壓

3  MPa

工作環(huán)境溫度

5 ℃ ~ 45 ℃

輸入輸出信號

0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

電源

+15 V   50 mA   -15V    200 mA;

重量

1.1  kg